Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edisyon: | 2-е изд., стер. |
| Konular: | |
| Online Erişim: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|