Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Редагування: | 2-е изд., стер. |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|