Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Книга |
| Ngôn ngữ: | Russian |
| Được phát hành: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Phiên bản: | 2-е изд., стер. |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|