Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приво...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 語言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| 版: | 2-е изд., стер. |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://e.lanbook.com/book/200492 https://e.lanbook.com/img/cover/book/200492.jpg |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|