Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | |
---|---|
مؤلفون آخرون: | |
التنسيق: | Книга |
اللغة: | Russian |
منشور في: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
الوصول للمادة أونلاين: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|