Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Книга |
| Γλώσσα: | Russian |
| Έκδοση: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| Διαθέσιμο Online: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|