Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | |
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|