Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенер...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| その他の著者: | |
| フォーマット: | Книга |
| 言語: | Russian |
| 出版事項: |
Санкт-Петербург
БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова
2021
|
| オンライン･アクセス: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|