Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: ти...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Санкт-Петербург
Лань
2024
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/400850 https://e.lanbook.com/img/cover/book/400850.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|