Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: ти...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Санкт-Петербург
Лань
2024
|
| Темы: | |
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/400850 https://e.lanbook.com/img/cover/book/400850.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|