Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: ти...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Taal: | Russian |
| Gepubliceerd in: |
Санкт-Петербург
Лань
2024
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | https://e.lanbook.com/book/400850 https://e.lanbook.com/img/cover/book/400850.jpg |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|