Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: ти...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Санкт-Петербург
Лань
2024
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/400850 https://e.lanbook.com/img/cover/book/400850.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|