Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Wedi'i Gadw mewn:
Prif Awdur: | |
---|---|
Awduron Eraill: | |
Fformat: | Книга |
Iaith: | Russian |
Cyhoeddwyd: |
Казань
КНИТУ
2022
|
Pynciau: | |
Mynediad Ar-lein: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|