Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Казань
КНИТУ
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|