Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Казань
КНИТУ
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|