Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Enregistré dans:
Auteur principal: | |
---|---|
Autres auteurs: | |
Format: | Книга |
Langue: | Russian |
Publié: |
Казань
КНИТУ
2022
|
Sujets: | |
Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|