Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Gardado en:
Autor Principal: | |
---|---|
Outros autores: | |
Formato: | Книга |
Idioma: | Russian |
Publicado: |
Казань
КНИТУ
2022
|
Темы: | |
Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|