Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Zapisane w:
1. autor: | |
---|---|
Kolejni autorzy: | |
Format: | Книга |
Język: | Russian |
Wydane: |
Казань
КНИТУ
2022
|
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|