Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Shranjeno v:
Glavni avtor: | |
---|---|
Drugi avtorji: | |
Format: | Книга |
Jezik: | Russian |
Izdano: |
Казань
КНИТУ
2022
|
Teme: | |
Online dostop: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|