Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Övriga upphovsmän: | |
Materialtyp: | Книга |
Språk: | Russian |
Publicerad: |
Казань
КНИТУ
2022
|
Ämnen: | |
Länkar: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|